Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine
Subtitle: Tagung München, 9. November 1989 : Tagungsbericht.
Contributors: Verein Deutscher Ingenieure.; Verband Deutscher Elektrotechniker.
Series: VDI Berichte,; 795; VDI-Berichte ;; 795.
Publisher: VDI Verlag
Published: 1989
Place of publication: Düsseldorf
Language: ger
Number of pages: 217
Subjects: Integrated circuits -- Masks -- Congresses.
Notes: Includes bibliographical references.
Papers presented at a conference organized by the Verein Deutscher Ingenieure and the Verband Deutscher Elektrotechniker.