VUV-Photo-CVD
Subtitle: untersuchungen zur Gasphasenabscheidung amorpher Halbleiter mit Hilfe einer externen VUV-Quelle
By: vorgelegt von Friedrich Kessler
Contributors: Universität Stuttgart
Published: 1994
Language: ger
Number of pages: 121
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Stuttgart, 1994.