Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung
By: J. Vollmer, H. Hein
Contributors: Hein, H.; Kernforschungszentrum Karlsruhe. Institut für Mikrostrukturtechnik; Universität Karlsruhe
Series: KfK (Series) -- 5375
Publisher: Kernforschungszentrum Karlsruhe
Published: 1994
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 89
Other titles: Microminiature fluidic beam elements in LIGA-technique with integrated electrical control.
Notes: Summary in English.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1994.