Mise en oeuvre d'un réacteur de croissance In/HCL/PH₃/H₂ avec contrôle ellipsometrique in situ
Subtitle: rôle de PH₃ dans les étapes de preparation du substrat et de croissance
By: Dominique Gautard
Published: 1984
Language: fre
Notes: Thesis (doctoral)--Université de Clermont, 1984.