全氟癸基三氯硅烷

全氟癸基三氯硅烷（Perfluorodecyltrichlorosilane，简称FDTS）是一种无色液体化学物质，分子式为C10H4Cl3F17Si。FDTS分子能够形成。它们可与游离羟基（–OH）基团（例如玻璃、陶瓷或二氧化硅表面）形成共价的硅氧键。

由于其高度氟化的尾部基团，FDTS单分子层能够降低表面能。FDTS单分子层的沉积可通过一种相对简单的工艺实现，也称为（MVD）。通常在气相中沉积，于室温到近室温（约50 °C）下进行，因此与大多数基材兼容。该过程通常在真空腔室内进行，并在水蒸气的存在下辅助完成。经处理的表面具有疏水（防水）和降低摩擦的特性。

因此，FDTS单分子层常被用于微机电系统（MEMS）中可动微部件的表面涂覆。FDTS单分子层能降低表面能并防止粘连，所以也用于为纳米压印（nanoimprint lithography）中的模具涂覆微纳结构——纳米压印正成为制造电子器件、有機發光二極體、微流体器件等的优选方法之一。

降低的表面能有助于减少注射製模过程中聚合物零件的顶出力和脱模阻力，因此 FDTS 涂层已被应用于一些金属注塑模具和嵌件上。

 参考 

Category:有机硅化合物
Category:薄膜
Category:有机氟化合物
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