光罩檢測

在微技術領域中，光罩檢測（）是檢查光罩製作正確性的操作技術"VLSI technology: fundamentals and applications", by Yasuo Tarui, 1986, , Chapter 4: "Mask Inspection Technology"。用於定位光罩缺陷的是高級自動化系統，如掃描電子顯微鏡等ZEISS Webpage offering automated mask repair tools。「光罩檢測」一詞也可能非正式地指稱真正寫入光罩前的光罩資料檢測（）"Design for manufacturability and yield for nano-scale CMOS", by Charles Chiang, Jamil Kawa, 2007, ,  p. 237。

 參考文獻 

Category:微技術