白光干涉顯微鏡

白光干涉顯微鏡（）是使用光干涉原理來展示物件的內部或表面的顯微鏡。

通過奈米垂直掃描器與干涉物鏡使解析度達到0.1奈米，因此應用於3D高精度量測。

参考文献

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