多重图形

多重图形（Multiple patterning）是指一种勒半导体制造过程中个技术。勒光刻过程中使用了多重图形曝光增强了制作图形个密度。

尽管极紫外光刻将勒下一代光刻中作为一个选项，但是箇个仍疚需要额外一次曝光。