Karbon tetraflorür

Karbon tetraflorür veya R-14 olarak da bilinen tetraflorometan, en basit perflorokarbondur (CF4). IUPAC adından da anlaşılacağı gibi, tetraflorometan, hidrokarbon metanın perflorlanmış karşılığıdır. Tetraflorometan kullanışlı bir soğutucudur, lâkin aynı zamanda da güçlü bir sera gazıdır.Siegemund, Günter; Schwertfeger, Werner; Feiring, Andrew; Smart, Bruce; Behr, Fred; Vogel, Herward; McKusick, Blaine (2002). "Fluorine Compounds, Organic". Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry

Tetraflorometan, karbonun kendisi de dâhil olmak üzere herhangi bir karbon bileşiğinin bir flor atmosferinde yakılmasıyla elde edilen üründür. Hidrokarbonlarla, hidrojen florürün bir yan üründür. İlk kez 1926'da üretildiği bildirildi.Greenwood & Earnshaw

Tetraflorometan bazen düşük sıcaklıkta soğutucu (R-14) olarak kullanılır. Elektronik mikro fabrikasyonda tek başına veya silisyum, silisyum dioksit ve silisyum nitrür için bir plazma dağlayıcı olarak oksijenle kombinasyon hâlinde kullanılır.K. Williams, K. Gupta, M. Wasilik. Etch Rates for Micromachining Processing – Part II J. Microelectromech. Syst., vol. 12, pp. 761–777, December 2003.

Kaynakça

Kategori:Halometanlar
Kategori:İnorganik karbon bileşikleri