ฟลูออโรมีเทน

ฟลูออโรมีเทน (หรือชื่ออื่นๆ ดังนี้ เมทิลฟลูออไรด์ หรือ ฟรีออน 41 ฮาโลคาร์บอน-41 และ HFC-41) เป็นสารประกอบที่ไม่เป็นพิษ ควบแน่นได้และติดไฟได้ที่สภาวะมาตรฐาน (STP) ใช้ในอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำและผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์  ฟลูออโรมีแทนสามารถแตกตัวให้ฟลูออไรด์ได้เมื่อได้รับคลื่นวิทยุและจะกัดซิลิกอนให้เป็นตามแบบที่ต้องการได้

 อ้างอิง 

 แหล่งข้อมูลอื่น 
 Thermochemical data at chemnet.ru
 CAS DataBase List METHYL FLUORIDE at ChemicalBook

หมวดหมู่:แก๊ส
หมวดหมู่:ออร์กาโนฟลูออไรด์