Auger-Elektrone-Spektroskopie

Auger-Elektrone-Spektroskopie (AES) is ne Analysemethode fon Uurflächen mäd Hälpe fon Auger-Elektrone.

Wan me in Vakuum ne Materioalprobe bestroalt mäd (primäre) Elektrone mäd ne Energie fon sun 1 bit 10 keV, dan soant dät Materioal sälwen wier Elektrone uut. Do sekundäre Elektrone hääbe aal Grööten fon Energie, man deertwiske dwo wäkke skäärpe Spitsen apfaale, do sonaamde Auger-Elektrone. Do Auger-Elektrone hääbe ne Energie, ju der bestimd wäd fon do Elemente in dät Materioal fon ju Probe. 

Gjuchts is dät Effekt skizzierd foar n Molekül mäd twäin Boane. Sukke Boane hääbe ne foar älk Element charakteristiske Energie. Wan nu dät Molekül fon n Primärelektron träfd wäd, dan kon een fon do bee binnere Elektrone (rood) ne haagere Energie kriege un deertruch in n haageren Boan broacht wäide. Ätter ne bestimde Tied faalt dät dan in sin oolde Boan tourääch (ounroat mäd n Pieler un ne loose blaue Steede), wierbie dan ne Energie fräiwäd juust gliek an dät Unnerskeed in Energie fon do bee Boane. Ju Energie wäd dan meedeeld (Pieler mäd Krulle) an wier n uur Elektron, wät dan as Auger-Elektron uutsoand wäd un uk ne loose Steede bääte lät.

Auger-Doaten wäide gewöönelk roat as Spektra in oulatte Foarm. Dät is gjuchts roat foar Kooper Nitride. Dät rakt ne kloore Spitse foar Stikstof (N) ap 400 eV. Kooper häd fuul moor Elektrone in fuul moor Boane un rakt also fuul moor Spitsen, nämmelk bie 920eV (mäd two Litjere) un bie 70 eV. 

Auger-Elektrone uut djappere Loagen ferljoose hiere charakteristiske Energie truch Steeten juun haager lääsende Atome. Do analysierboare Elektrone stamme deerhäär uut do buppeste 0,5 bit 3 Nanometer, also 2 bit 10 Atomloagen. Deeruum is AES foarallen ne Uurflächen-Technik. Truch Sputter-Ätsjen in Vakuum konnen oawers Loagen wächhoald wäide, so dät me djapper meete kon. So konnen ganse Djupte-Profile ärheelden wäide.

Wan anwoand in n Raster-Elektronemikroskop, konnen uk Bielden (Kartierengen) fon ju Ferspreedenge fon bestimde Elemente uur ne Probe moaked wäide. Bie 10 keV Primärenergie un n litjen Stroom is die Stroal so fien, dät me deerbie ne Aplöösenge fon 0,3 /um kriege kon. Ju grootste Geföilegaid fon 0,1 bit 1 Atom Prozent kricht me bie grattere Stroome un dän Gehalt an n bestimd Element kon in n Präzisionsfaktor two bestimd wäide. Deermäd is AES fuul beeter tou tjouen as Sekundär-Ione-Massen-Spektroskopie (SIMS), man deerjuun fuul minner geföilich.

Kategorie:Chemie
Kategorie:Physik