Bis(trimethylsilyl)amine

Bis(trimethylsilyl)amine (juga dikenali sebagai hexamethyldisilazane, atau HMDS) adalah kompaun organosilikon dengan formula molekul formula [(CH3)3Si]2NH. Molekul ini adalah terbitan ammonia dengan kumpulan trimethylsilyl menggantikan dua atom hidrogen. Ia merupakan cecair tidak berwarna,reagen dan juga pendahulu kepada base yang popular dalam sintesis organik dan kimia organo-logam. 

Dalam proses photolithography, HMDS biasanya digunakan untuk menggalakkan pelekatan photoresist sebelum photoresist digunakan ke atas bahan semikonduktor.