소프트 리소그래피

200px|right|섬네일|그림 2 - 솔루션의 ODT가 PDMS 스탬프에 고정된다. Stamp에는 이제 잉크 역할을 하는 ODT가 부착되어 있다.
200px|right|섬네일|그림 3 - ODT가 포함된 PDMS 스탬프가 금 기판에 배치된다. 스탬프가 제거되면 금과 접촉한 ODT가 금에 달라붙어 있다. 따라서 스탬프의 패턴은 ODT "잉크"를 통해 금으로 전사된다.
소프트 리소그래피(Soft lithography)는 기술 분야에서 "탄성 스탬프, 몰드 및 순응성 포토마스크"를 사용하여 구조를 제작하거나 복제하는 기술 계열이다.In the words of Rogers and Nuzzo, p. 50, as cited in "Further reading" 이는 엘라스토머 재료, 특히 PDMS를 사용하기 때문에 "소프트"(soft)라고 불린다.

소프트 리소그래피는 일반적으로 마이크로미터에서 나노미터 규모로 측정된 형상을 구성하는 데 사용된다. 로저스(Rogers)와 누조(Nuzzo, 2005)에 따르면 소프트 리소그래피의 개발은 1995년부터 2005년까지 급속히 확대되었다. 소프트 리소그래피 도구는 현재 상업적으로 이용 가능하다.

 이점 
소프트 리소그래피는 다른 형태의 리소그래피(예: 포토리소그래피 및 전자 빔 리소그래피)에 비해 몇 가지 고유한 장점을 가지고 있다. 여기에는 다음이 포함된다.

 대량 생산 시 기존 포토리소그래피에 비해 비용이 저렴함
 생명공학기술 응용 분야에 매우 적합함
 플라스틱 전자제품의 응용 분야에 매우 적합하다.
 크거나 비평면(비평탄) 표면을 포함하는 응용 분야에 매우 적합하다.
 기존 리소그래피 기술보다 더 많은 패턴 전사 방법(더 많은 "잉크" 옵션)
 나노구조를 생성하기 위해 광반응 표면이 필요하지 않음
 실험실 환경에서 포토리소그래피보다 세부 사항이 더 작다(~30nm 대 ~100nm). 해상도는 사용된 마스크에 따라 다르며 6 nm에 도달할 수 있다.

 각주 

 참고 문헌 





분류:리소그래피