엑시머 레이저

엑시머 레이저(excimer laser)는 들뜬 상태에서는 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 화학종을 이용한 레이저다. 엑시머란 들뜬 상태에서는 이합체로 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 화학종이고 엑시플렉스란 들뜬 상태에서는 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 서로 다른 원자로 된 화학종이므로 엄밀히는 엑시머 레이저와 엑시플렉스 레이저를 구별하여야 하나 관용적으로 구분하지 않고 사용된다.

파장이 짧은 자외선인 엑시머 레이저는 물체나 생체조직을 태우지 않고 결합을 끊을 수 있기 때문에 라식 등의 의학이나 포토리소그래피(Photolithography)등 다양한 용도로 쓰인다.

 역사 
모스크바의 레데예프 물리학 연구소에서 니콜라이 바소프, V. A. Danilychev, Yu. M. Popov가 1970년에Basov, N. G. et al., Zh. Eksp. Fiz. i Tekh. Pis’ma. Red. 12, 473(1970). 172 nm 파장의 유도 방출을 제공하기 위해 전자 빔으로 들뜨게 한 제논 이합체 (Xe2)를 이용하여 발명하였다.

 파장 결정 
엑시머 레이저의 파장은 사용되는 분자에 따라 달라지며, 자외선에 보통 존재한다:

엑시머파장상대력(Relative Power)mWAr2*126 nmKr2*146 nmF2*157 nmXe2*172 & 175 nmArF193 nm60KrF248 nm100XeBr282 nmXeCl308 nm50XeF351 nm45KrCl222 nm25

 같이 보기 
 무어의 법칙
 포토리소그래피
 각주 

분류:레이저
분류:라식