1.5 µm 공정

1.5 µm 공정(1.5 마이크로미터 공정)은 1981년1982년경 인텔 및 IBM과 같은 회사에서 도달한 MOSFET 반도체 공정 기술 수준이다.

1.5 µm 공정은 안정적으로 생산할 수 있는 최소 크기를 의미한다. 이 공정으로 만들어진 칩의 가장 작은 트랜지스터 및 기타 회로 요소는 폭이 약 1.5마이크로미터였다.

1.5 µm 제조 공정을 특징으로 하는 제품
 NEC의 64 kbit SRAM 메모리 칩은 1981년에 1.5 µm 공정을 도입했다.
 1982년에 출시된 인텔 80286 CPU는 이 공정을 사용하여 제조되었다.
 인텔은 1983년에 1.5 µm CMOS 공정을 사용하여 64 kbit DRAM 메모리 칩을 도입했다.
 리코 RF5C164는 1991년에 출시된 메가 CD 비디오 게임 콘솔에 사용된  실리콘 게이트 CMOS 사운드 칩이다.
 아미가 고급 그래픽 아키텍처 (1992년 처음 판매됨)에는 1.5 µm CMOS 공정을 사용하여 제조된 Lisa와 같은 칩이 포함되었다.
 인텔은 HMOS-III 기술에 1.5마이크론 공정을 사용했다.Intel Corporation, "New Product Focus Components: 80286 Workhorses: Twice As Fast", Solutions, July/August 1985, Page 17
 인텔은 HMOS II-E 기술에 1.4마이크론 공정을 사용했다.Intel Corporation, "NewsBit: Three New Pinouts For One-Megabit EPROMs Announced", Solutions, January/February 1986, Page 1
 인텔은 CHMOS III 기술에 1.5마이크론 공정을 사용했다.Rant, Jon; "CHMOS: Matching Process to Product", Intel Corporation, Solutions, January/February 1986, Page 17Ormsby, Jon, Editor, "New Product Focus: Components: 82526 Works Magic Under The Hood", Intel Corporation, Microcomputer Solutions, May/June 1988, page 10

 각주 

 외부 링크 
 마이크로프로세서 개발의 간략한 타임라인

분류:1982년 도입
분류:국제 반도체 기술 로드맵 리소그래피 노드