Жұқа үдірлі технология

Жұқа үдірлі технология (орыс. Тонкопленочная технология) – ИС-ды, шалаөткізгіш аспаптарды, коммутациялық қосылыстарды және микросхемаларды жинақтау ауданшаларын  жасағанда, металдар, диэлектриктер, шалаөткізгіштер жұқа үлдірлерін (қалыңдығы 0,01-1,0 мкм) алу мен өңдеу әдістерінің жиынтығы.  Үлділерді алу әдістерін үшке бөледі: физикалық, химиялық және комбинациялық.  Физикалық әдістерге: вакуумде буландыру (термикалық, электронды-сәулелік, электронды соққылау арқылы және т.б.), иондық тозаңдату (мгнетрондық, ионды-сәулелік және т.б.) жатады. Химиялық әдістер  электрохимиялық тозаңдатудан, химиялық реакциялар көмегіменгазды фазадан тұндырудан, т ермикалық өсіруден, анодтандырудан және т.б. тұрады. Комбинациялық үлдірлер алу әдестері   физикалық әрі химиялық  процестерды біріктіреді (термоиондық плазмохимиялық тұндыру, газды анодтандыру және тағы басқалары).
Радиотехника, Компьютер және байланыс сөздігі, Алматы 2007