Микроэлектромеханикалық жүйелер

Микроэлектромеханикалық жүйелер (МЭМЖ) (mikroelectromechanical system, MEMS) - механикалық және электронды құрылғылар бір жерде байланысатын кішкентай құрылғы. 

Әдетте көлемі оннан бірнеше жүз мкм-ға жететін жартылай өткізгіш чип болып келеді. МЭМЖ-ға арналған типтік қолданбалы құрылғыларға сенсорлар, тетіктер және қолданбалы элементтер кіреді.  

 Дереккөздер 

Санат:Бергіштер
Санат:Электротехника
Санат:Электроника