Планарлы-эпитаксиалдық технология

Планарлы-эпитаксиалдық технология  — Планарлы-эпитаксиалдық технологияның
қуатты транзисторлар жасауда қолданылатын түрі. Мұнда монокристалл
төсеніштің құрылымын қайталайтын
жұқа Si — эпитаксиалдық қабатты
төсеніш үстіне эпитаксиалдық өсіру
операциясы бар. Эпитаксиалдық
қабат пен төсеніштің легирлену
деңгейі және өткізгіштік типі әр
түрлі болуы мүмкін.

Планарлы-эпитаксиалдық технология транзисторлар құрылымын
қалыптастыру және элементтерін
оқшаулау түрлеріне байланысты
бірнеше нұсқаларға бөлінеді. Элементтері толық диэлектрлік оқшауланған ИС-ды диэлектриктегі кремний құрылымы негізінде жасайды.
Мұндай құрылым поликристаллы Si
пластина ішінен ойып-өңдеумен
ойықтар жасап, олардың қабырғаларына SiO2 үлдірлерін жалатып,
сосын осы ойықтарды монокристаллы n+ - Si-ді жергілікті эпитаксиалды өсірумен толтыру нәтижесінде жасалады. Сөйтіп, жан-жағынан
диэлектрикпен (SiO2 ) қоршалған
және жоғары омды диэлектрик болып
табылатын поликремнийге батырылған п+ - аймақтары пайда болады.

ИС элементтерін комбинациялы
оқшаулаған кезде олардың астын
төсеніш жағынан кері ығысған р — п
өткелдерімен, ал қабырға жақтарын
диэлектрикпен оқшаулау арқылы
эпитаксиалдық қабатты жергілікті
өтпелі тотықтармен оқшауласа, онда
бұл изопланарлық технология. Ал
енді эпитаксиалдық қабатта V-тәрізді
каналдарды ойып өңдеумен, сосын
оларды жоғары омды поликремниймен толтыру жолымен оқшауласа, бұл полипланарлық технологияға жатады.

Оқшаулаудың келесі VIP технологиясында ( — поликристаллы кремнийі
бар V-тәрізді жыралармен оқшаулау)
ИС элементтерін қалыптастырылган
Транзисторлық құрылым  қабаттарынан тұратын элементтер арасыңдағы
эпитаксиалдық қабатты тігінен
анизатроптың ойып-өңдеу жолымен
оқшаулайды, осыдан кейін пайда
болған V-тәрізді жыралары бар
бедерді SiO2 мен Si3N4 жұқа  оқшаулағыш қабаттарымен жабады да,
жыраларды поликремниймен толтырады.Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007
ISBN 9965-36-448-6

Дереккөздер

Санат:Электроника