Фотошаблон

Фотошаблон  - мөлдір және қарайтылған бөліктері, яғни микросызбаның қабатты суреті бар шыны перде немесе фотоүлдір. Фотошаблон фотолитография процесінде ИС жасағанда фоторезист қабатын жергілікті жа¬рықтандыру үшін қолданылады. Фотошаблон төсенішін кәдімгі шыныдан (толқын ұзындығы 1 = 300 нм-ден асатын сәулемен жарықтаңцырғанда) немесе кварц шыныдан (1 300 нм) жасайды.Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007
ISBN 9965-36-448-6

Дереккөздер

Санат:Электроника