Рентгеношаблон

Рентгеношаблон (рентген және schablone — үлгі) — үстіне перделейтін қабат салынған (берілген конфигурациядағы рентген сәулесіне мөлдір емес жабылғысы бар) жұмсақ рентген сәулесі өтіп кететін жұқа мембранадан және оны ұстап тұратын негізден тұрады. Рентгенорезист толқын ұзындығы X = 0,2—5,0 нм рентген сәулесімен жарықтандыру арқылы оған литография процесінде интегралдық сызба элементтері кескінін түсіруге арналған. Рентгеношаблон мембранасын қалындығы 1—12 мкм органикалық емес (Si, Si02, AljOj, Si3N4,SiC), сондай-ақ полимерлік (полимилид, полиэтилентерефлатат) материалдардан жасайды.Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007
ISBN 9965-36-448-6

Дереккөздер

Санат:Электроника