Рентгенорезист

Рентгенорезист – жұмсақ рентген сәулелелеріне (толқын ұзындығы X = 0,2—5,0 нм) сезімтал резист; органикалық еріткіштегі рентгенге сезімтал полимерлік материал. Рентгенолитография процесіндегі Рентгенорезисттен жасалған қабаттың қалыңдығы әдетте 0,3—1,5 мкм болады. Позитивті және негативті рентгенорезист деп екіге бөлінеді. Негативті рентгенорезисттің сезімталдығы 5-50 мДж/см2, ал позитивті Р-дікі 50—1000 мДж/см2.Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007
ISBN 9965-36-448-6

Дереккөздер

Санат:Электроника