Лазерлік литография

Лазерлік литография (ЛЛ) - жұмыс істеу принципі толқын ұзындығы 300 нм эксимерлік лазердің сканирлейтін сөулесінің хлор ортасына қойылған кремний төсенішке өсеріне негізделген. Хлор иондарының кремний атомдарымен химиялық реакциясы нәтижесінде лазерлік сәуленің жылулық әрекетінен газ тәріздес қосылыс — торт хлорлы кремний пайда болып, ұшып кетеді де, төсеніште ойылып тесілген бөліктер кескінделіп шығады. Лазерлік литографияда бір гаиа операция орындалады, өйткені жарықтандыру және ойыптесу операциялары бірге жүргізіледі.

Лазерлік өндеуде тек ғана химиялық реакция жүретіндіктен, ақаулар мөлшері аз. Хлорды фтормен алмастыру және шамамен 1510 нм толқын ұзындығы бар лазерлік сәулеленуді пайдалану өлшемдері 0,25 мкм болатын элементтерді жасауга мүмкіндік береді. Бөлме температурасындағы лазерлік өңдеудің мүмкіндіктері диаметрі 206 мм төсеніштерде (пластиналарда) аса үлкен интегралдық схемаларды жасауға жағдай тудырады.Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007
ISBN 9965-36-448-6

Дереккөздер

Санат:Электроника