Литография

Литография ( — тас және  — сурет саламын) — электроникада, интегралдық схемаларды және басқа электрондық аспаптарды жасау процесінде металл, диэлектрик немесе шалаөткізгіш қабатында берілген бедерді (суретті) қалыптастыру әдісі. Литография (процесі сәулеленуге (оптикалық, УҚ, рентген және т.б.) немесе зарядталған бөлшектер ағынына (электрондардың, иондардың) сезімталдығы жөне ойып-өндеушіге берік резистерді пайдаланумен іске асырылады. Резисторге әсер ететін сәулелену түріне байланысты фоторезисті, электронорезисті, рентгенорезисті және ионорезисті пайдалану аркылы жүзеге асырылатын оптикалық литографияны, электронолитографияны, рентгенолитографияны, ионолитографияны және лазерлік литографияны бөліп қарастырады.Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007
ISBN 9965-36-448-6Полиграфия, өлшеу техникасы, ағаш өңдеу жабдыктары және металл өңдеу техникасы мен технологиясы: Қазақша-орысша терминдердің түсіндірме сөздігі.

Дереккөздер

Санат:Электроника
Санат:Полиграфия