ケイ酸ハフニウム(IV)

ケイ酸ハフニウム(IV)（Hafnium(IV) silicate、HfSiO4）は、ハフニウムのケイ酸塩である。天然にはハフノンとして産出するが、多くの場合ジルコニウムを含む。ケイ酸ハフニウムのジルコニウム置換体が（ジルコン）となる。融点2758度。

ケイ酸ハフニウムとケイ酸ジルコニウムの薄膜は化学気相成長法（主にMOCVD）によって作られ、半導体材料である二酸化ケイ素に代わる高誘電率誘電体（high-k dielectric）として使うことができる。

 関連項目 
 塩化ハフニウム(IV)
 ケイ酸ジルコニウム(IV)

Category:ケイ酸塩
Category:無機化合物
Category:ハフニウムの化合物
Category:誘電体