ドライポンプ

ドライポンプは接ガス部にオイルを用いない真空ポンプである。内部の機構全てがオイルフリーなわけではない。半導体製造など、油汚染を嫌う場合に多く使われる。

真空ポンプの分類として、ウエットポンプに対比する用語。

 ドライポンプの種類　
 ルーツ型ドライポンプ
 クロー型ドライポンプ
 スクリュー型ドライポンプ
 サイドチャンネル型ドライポンプ
 スクロール型ドライポンプ
 ベーン型ドライポンプ
 ドライロータリーベーンポンプ

 関連項目 
 真空
 真空計

 ドライポンプメーカー
 日本ブッシュ
 アルバック
 樫山工業
 荏原製作所等

とらいほんふ