Interkoneksi (sirkuit terpadu)

Dalam sirkuit terpadu (IC), interkoneksi adalah struktur yang menghubungkan dua atau lebih elemen rangkaian (seperti transistor) secara elektrik. Desain dan tata letak interkoneksi pada IC sangat penting untuk fungsi, kinerja, efisiensi daya, keandalan, dan hasil fabrikasi yang tepat. Interkoneksi material yang dibuat bergantung pada banyak faktor. Kompatibilitas kimia dan mekanik dengan substrat semikonduktor dan dielektrik antara tingkat interkoneksi diperlukan, jika tidak diperlukan lapisan penghalang. Kesesuaian untuk fabrikasi juga diperlukan; beberapa kimia dan proses mencegah integrasi bahan dan unit proses ke dalam teknologi (resep) yang lebih besar untuk fabrikasi IC. Dalam fabrikasi, interkoneksi dibentuk selama back-end-of-line setelah fabrikasi transistor pada substrat.1998.

Interkoneksi diklasifikasikan sebagai interkoneksi lokal atau global tergantung pada jarak propagasi sinyal yang mampu didukungnya. Lebar dan ketebalan interkoneksi, serta bahan pembuatnya, merupakan beberapa faktor penting yang menentukan jarak perambatan sinyal. Interkoneksi lokal menghubungkan elemen-elemen rangkaian yang sangat berdekatan, seperti transistor yang dipisahkan oleh sepuluh atau lebih transistor lain yang disusun secara berdekatan. Interkoneksi global dapat mentransmisikan lebih jauh, misalnya melalui sub-sirkuit dengan area luas. Akibatnya, interkoneksi lokal dapat dibentuk dari bahan dengan resistivitas listrik yang relatif tinggi seperti silikon polikristalin (terkadang disilisida untuk memperluas jangkauannya) atau tungsten . Untuk memperluas jarak yang dapat dijangkau oleh interkoneksi, berbagai sirkuit seperti buffer atau pemulih dapat disisipkan di berbagai titik sepanjang interkoneksi yang panjang.

 Lihat pula 
 Fabrikasi wafer
 Wafer elektronik
 Semikonduktor
 Transistor
 Industri semikonduktor
 Polikristalin
 Silikon monokristalin
 Proses Czochralski
 Boule kristal silikon
 Doping semikonduktor
 Pengemasan sirkuit terpadu
 Pabrik Fabless
 Fotolitografi
 Litografi ultraviolet ekstrem
 Back end of line (BEOL)
 Dielektrik

 Referensi 

Kategori:Sirkuit terpadu
Kategori:Perangkat semikonduktor
Kategori:Fabrikasi alat semikonduktor
Kategori:Manufaktur elektronik
Kategori:Industri elektronika

Kategori:Dielektrik