Իոնային փոշիացում

Իոնային փոշիացում, գազային պարպման ընթացքում կաթոդի նյութի ատոմների կամ մոլեկուլների անջատման և ցրման երևույթը, պայմանավորված է կաթոդի մակերևույթին գազի դրական իոնների հարվածներով։ Բնութագրվում է կաթոդային փոշիացումման գործակցով, որը կախված է կաթոդի նյութից, հարվածող իոնների էներգիայից, զանգվածից, անկման անկյունից և գազի ճնշումից։ Իոնային սարքերում կաթոդային փոշիացում առաջացնում է կաթոդի քայքայում, խողովակի ներսում ցրված նյութի նստվածքներ, գազի ճնշման անկում և այլն։ Կաթոդային փոշիացման օգտակար կիրառումներից են մակերևույթների մաքրումը, նյութի կառուցվածքի ուսումնասիրումը, ուղղորդված ատոմային փնջերի ստացումը և, հատկապես, մետաղյա ծածկույթների ու թիթեղների գերբարակ շերտերի պատրաստումը։

Կատեգորիա:Ֆիզիկական էֆեկտներ և երևույթներ