Nanolitografía

A nanolitografía é unha rama da nanotecnoloxía que trata do estudo e a súa aplicación na fabricación de  microestruturas de escala nanométrica , atinxindo modelos con cando menos  unha dimensión lateral comprendida entre o grandor dun átomo e 100 nm. Emprégase na nanocircuitería  dos circuítos integrados semicondutores de punta integrada e nos sistema nanoelectromecánico.

 Técnicas 

A principal técnica empregada é a fotolitografía que pode producir modelos utilizando unha lonxitude de onda moi curta, actualmente 193 nm.

Véxase tamén
 Ligazóns externas 
Nanotechnology Research Center-Georgia Institute of Technology .

Categoría:Nanotecnoloxía