Typpitrifluoridi

Typpitrifluoridi on epäorgaaninen yhdiste, jonka kaava on NF3. Ulkomuodoltaan se on väritöntä ja palamatonta kaasua. Sitä käytetään puolijohteiden plasmaetsauksessa.

Se reagoi fluorin ja antimonipentafluoridin kanssa tuottaen tetrafluoriammoniumsuolaa, tetrafluoriammoniumheksafluoroantimonaattia.
NF3 + F2 + SbF5 → NF4+SbF−6

 Kasvihuonekaasu 
Typpitrifluoridin GWP-indeksi on 17 200 kertaa suurempi kuin hiilidioksidin ja sen elinajaksi ilmakehässä arvioidaan 740 vuotta. Toisissa tutkimuksissa sen elinajaksi arvioidaan 550 vuotta, mikä pudottaa sen GWP-indeksin 16 800:een. Käytön jälkeen suurin osa kaasusta tuhotaan, ja muutaman tutkimuksen mukaan vain 2–3 % pääsee ilmakehään.

 Turvallisuus 
Aine tulee pitää erillään palavista ja pelkistävistä aineista. Se voi imeytyä elimistöön hengitysteitse ja pitkäaikaisella altistuksella saattaa olla vaikutuksia maksaan ja munuaisiin.

 Lähteet 

 Aiheesta muualla 


Luokka:Fluoridit
Luokka:Typpiyhdisteet
Luokka:Kasvihuonekaasut