قانون کلایبر

به بیان ساده، قانون کلایبر پیشنهاد کرده‌است که «اندازه ویفر سیلیکون، بیشترین قطر لوله‌کشی آب فوق خالص مورد نیاز در یک کارخانه ویفر نیم‌رسانا را تعیین می‌کند.»

از آب فراخالص (UPW) به‌طور گسترده‌ای در مراحل برساخت ریزتراشه‌های رایانه استفاده می‌شود.Burkhart M, Wermelinger J and Klaiber F, "Is polyvinylidene fluoride piping safe for hot ultrapure-water applications?", MICRO, 13 (2):pp 27-31, 1995 این ریزتراشه‌ها روی زیرلایه‌های نازک و گرد سیلیکون برساخته می‌شوند که نامیده می‌شوند.

از دهه ۱۹۹۰، لوله‌ها، اتصالات و شیرآلات مورد استفاده برای حمل یوپی‌دبلیو به‌طور چشمگیری قطر را افزایش داده و در نتیجه، حجم تحویلی یا گالن بر دقیقه نیز افزایش یافته‌است. پلی‌وینیلیدین فلورید (PVDF) ماده انتخابی برای مجاری بزرگتر برای انتقال یوپی‌دبلیو بوده‌است.Burkhart M, Wagner G and Klaiber F, “Leaching Characteristics of Polyvinylidene Fluoride and Polypropylene,” Ultrapure Water, May/June 1997: pp 30-33 پی‌وی‌دی‌اف همچنین در ASTM D 5127 - 07 راهنمای استاندارد برای آب فراخالص مورد استفاده در صنایع الکترونیک و نیم‌رساناASTM International, 100 Barr Harbor Drive, PO Box C700, West Conshohocken, PA 19428-2959 برای حفظ بالاترین کیفیت آب مورد نیاز است.
بندانگشتی| رابطه بین جریان آب فراخالص و اندازه ویفر.
در اوایل دهه ۱۹۹۰ مشاهده ای که توسط دکتر فلیکس کلایبر انجام شد از آن به عنوان قانون کلایبر نام برده می‌شود.Wermelinger J, Mueller HP and Burkhart M, “New 450-mm PVDF Piping Systems for Conveying High-Purity Water in Semiconductor Plants,” Ultrapure Water, July 2011: pp 15-19 وی تشخیص داد که پرش نیم‌رسانا از استفاده از ویفرهای سیلیکونی با قطر ۱۰۰ میلی‌متر تا ۱۵۰ میلی‌متر (زمانی که بزرگترین مجاری در سامانه‌های یوپی‌دبلیو پی‌وی‌دی‌اف فقط ۱۱۰ میلی‌متر قطر خارجی داشتند) به زودی نیاز به لوله‌های بزرگتر ۱۶۰ میلی‌متری پی‌وی‌دی‌اف را به دنبال دارد.

 منابع 

رده:فناوری ساخت ادوات نیم‌رسانا