انباشت بخار شیمیایی افزایش‌یافته با پلاسمای کم‌انرژی

انباشت بخار شیمیایی افزایش‌یافته با پلاسمای کم‌انرژی () CVD) از پلاسمای کم‌چگالی و کم‌انرژی برای به دست آوردن رسوب اپیتاکسیال مواد نیمه‌رسانا با سرعت بالا و دماهای پایین استفاده می‌شود.

 جستارهای وابسته 
 انباشت بخار شیمیایی

 منابع 



رده:فناوری ساخت ادوات نیم‌رسانا
رده:فیزیک پلاسما
رده:لایه‌نشانی
رده:انباشت به روش تبخیر شیمیایی
رده:پردازش پلاسما