Muturreko litografia ultramore

Muturreko litografia ultramorea, MLU edo UVE eta EUVL, , erdieroaleen industrian zirkuitu integratuak ekoitzitzeko erabiltzen den abangoardiako teknologia bat da. Muturreko erradiazio ultramorearen bidez siliziozko olata elektronikoetan eredu konplexuak sortzeko fotolitografia mota bat da. Erabilitako UVEren uhin-luzera eskala gutxi gorabehera 13,5 nanometro inguruko %2ko FWHM banda zabalera da.

UVE teknologia ekoizpen handirako prestatua egon arren, teknika hau erabiliz olatak ekoitzitzeko munduko makinen %50a bakarrik dira gai. 

2013tik aurrera txipen ekoizpenerako UVE sistemak sortu eta saltzen dituen enpresa bakarra ASML da.

 Kanpo estekak 

Kategoria:Muturreko erradiazio ultramorea
Kategoria:Litografia (mikrofabrikazio)