ترسيب الطبقة الذرية

ترسيب الطبقة الذرية  هي تقنية ترسيب غشاء رقيق اعتماداً على عملية كيميائية في الطور الغازي، وهي تصنف ضمن عمليات الترسيب الكيميائي للبخار.

يعتمد أسلوب ترسيب الطبقة الذرية على استخدام مركبات طليعية بادئة، والتي تتفاعل مع سطح المادة المراد الترسيب عليها، مما يؤدي إلى تشكل بطيء من غشاء رقيق.

تعد تقنية ترسيب الطبقة الذرية مهماً في تصنيع مكونات من أشباه الموصلات، وكذلك في صناعة المواد النانوية.

 طالع أيضاً 
 ترسيب كيميائي للبخار

 هوامش 
  المقابل باللغة الإنجليزية: Atomic layer deposition اختصاراً ALD

 المراجع 

تصنيف:اختراعات سوفيتية
تصنيف:اختراعات فنلندية
تصنيف:ترسيب الغشاء الرقيق
تصنيف:تصنيع أجهزة أشباه الموصلات
تصنيف:تقنيات ترسيب البخار الكيميائي