白光干涉顯微鏡

白光干涉顯微鏡（White light Interferenc microscope），是使用光干涉原理來展示物件的內部或表面的顯微鏡。

通過奈米垂直掃描器與干涉物鏡使解析度達到 0.1nm,因此應用於3D高精度量測

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