光罩盒

光罩盒（），意為儲存光罩的盒子，主要用于避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染。

分类 
光罩運輸盒：由光罩製作廠運輸至晶圓廠間運輸用；
光罩廠區內部運輸盒；
光罩機台傳送盒：將光罩送入機台的盒子，針對特定的設備使用不同的傳送盒。其中包括非SMIF系統和SMIF系統。

參照
光罩

参考文献

半導體器件製造
盒