Fotolitografi

Fotolitografi, bir fotomaske kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir. Özellikle mikroçip çekirdekleri ile cep telefonu parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.

Kaynakça

Dış bağlantılar 
 BYU Photolithography Resources
 Semiconductor Lithography —  Overview of lithography
 Optical Lithography Introduction —  IBM site with lithography-related articles
 Immersion Lithography Article — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography

Mikroteknoloji