Düşük enerjili elektron mikroskobu

Düşük enerjili elektron mikroskobu veya LEEM (Low Energy Electron Microscope), maddelerin yüzeylerini mezoskopik boyutlarda incelemeye yarayan bir elektron mikroskobu çeşididir. Elastik olarak yüzeyden geri saçılan düşük enerjili (0-500 elektronvolt) elektronların görüntülenmesi üzerine kuruludur. Yüzeylerin yapısal ve kimyasal özelliklerinin 10 nanometreye varan bir çözünürlükte incelenmesini sağlar. İnce filmler, katalitik yüzeyler, nanoteknolojik sistemler ile ilgili çalışmalardaki öneminin ötesinde, bu mikroskoptaki yüksek sinyal seviyeleri yüzeydeki dinamik değişimleri video hızında canlı olarak takip etmeye olanak tanır.

Düşük enerjili elektron mikroskobu fikir bazında 1962 yılında Ernst Bauer tarafından ortaya atılmıştır. Ernst Bauer diğer araştırmacıların da katkılarıyla icadını 1985'te pratiğe dökmüştür.

Düşük enerjili elektron mikroskobunun avantajlarından bir diğeri elektron optik sisteminin odak düzleminde oluşan düşük enerjili elektron kırınımı (LEED) motifinin kolaylıkla ölçülebilmesidir.

Kaynakça

Dış bağlantılar 
 LEEM Kullanıcılar Topluluğu  (LEEM User Community) 

Elektron mikroskopları
Bilimsel yöntem