Surfaguide

Surfaguide je zariadenie so štruktúrou založenou na báze vlnovodného typu. Používa sa v mikrovlnnej technike na generáciu a udržiavanie výboja s povrchovou vlnou. Umožňuje vytvoriť dlhý stĺpec plazmy za použitia |mikrovĺn. Tento typ zdroja vytvára plazmu, ktorej parametre závisia na type nosného plynu, tlaku a absorbovanej energii dodaného mikrovlnným žiarením. Patrí medzi najjednoduchšie zariadenia na výboje s povrchovou vlnou.