Micro-Electro-Mechanical Systems

Micro-Electro-Mechanical Systems, skratka MEMS (slovensky mikromechanické systémy, mikromechanika), označuje mechanické a elektromechanické konštrukcie veľmi malých rozmerov (pod 1 mm), ako aj technológie používané na ich prípravu. Pre ilustráciu rozmerov typických MEMS sa často používa priemer ľudského vlasu (asi 50 μm).

Materiály a technológie 
Na prípravu MEMS sa využívajú technológie prevzaté z mikroelektroniky (t. j. výroby čipov):
 fotolitografia
 selektívne leptanie
 iónové odprašovanie
 selektívne nanášanie kovových a nekovových vrstiev

Podobne, aj materiály používané v MEMS sú často prevzaté z mikroelektroniky, napr. kremík, SiO2, rôzne kovy a polyméry.

Súčasné využitie 
 senzory
 senzory zrýchlenia použité na detekciu nárazu v automobile (iniciuje spustenie airbagu)
 vibračný gyroskop pre snímanie pohybu
 zobrazovacie prvky
 polia mikrozrkadiel

Potenciálne využitie 
 mikroroboty pre operácie vnútri ľudského tela (bez toho aby človek musel liezť pod skalpel - stačí keď prehltne "pilulku" a dané robotické systémy urobia všetko potrebné)
 miniatúrne motory, ktoré môžu byť použité v zabezpečovacích systémoch
 v špionážnej technike (ak sa už nevyužíva:) hlavne pre jeho malé rozmery 
 demonštrácia možností: 
 malé roboty menšie ako zrnko ryže 
 "kolotoč" pre blchy

Elektronika
Strojárstvo
Mikrotechnológia