Epitaksi

Epitaksi er en spesialisert teknikk for å produsere tynne filmer. Epitaksi (av gresk «epi» «lik» og «taxis» «på ordnet måte») beskriver ordnet vekst av en krystall på et substrat. Når vekstmaterialet er det samme som substratet kalles det homoepitaksi, når de er forskjellige kalles det heteroepitaksi.

Epitaksi er viktig i materialteknologi, halvlederteknologi og nanoteknologi siden det er mulig å lage filmer av svært høy kvalitet, dvs. noen få atomlag tykke og med få krystalldefekter.

Materialvitenskap
Nanoteknologi