이온 빔

이온 빔은 이온으로 이루어지는 하전 입자 빔의 형태이다. 이온 빔은 전자 제품 제조 (주로 이온 주입)및 기타 산업에서 많이 사용한다.

용도

이온 빔 에칭 및 스퍼터링 
이온 빔 소스의 한 유형은 듀오플라즈마트론이다. 이온 빔은 스퍼터링 법이나 이온 빔 에칭, 이온 빔 분석에 이용될 수 있다.

같이 보기 
 이온원
 이온 추력기
 이온 바람

이온
플라스마 물리학