1.5 µm 공정

1.5 µm(마이크로미터) 공정은 회로선 폭이 1.5 µm인 반도체를 다루는 공정 기술 수준이다. 1982년 경 인텔, IBM과 같은 반도체 회사가 달성하였다.

1.5 마이크로미터 제조 공정을 적용한 제품 
 1982년 출시된 인텔 80286 CPU는 이 공정으로 만들어졌다.

각주 

국제 반도체 기술 로드맵 리소그래피 노드