リモート・プラズマ

リモート・プラズマ (またの名は、ダウンストリーム・プラズマもしくはアフターグロー・プラズマ）は、プラズマと材料の相互作用が内のプラズマから離れた場所で発生する方法である。

関連項目 
 
 
 
 
 プラズマ活性化
 
 
 
 

 長江メモリ
 プラズマ活性化
 リモート・プラズマ
 フラッシュメモリ・コントローラ
 中国に対するアメリカの制裁
 大統領令13959
 大統領令14032
 マイケル・マッコール
 未検証リスト

リファレンス 

半導体製造