ラザフォード後方散乱分光

ラザフォード後方散乱分光（ラザフォードこうほうさんらんぶんこう、、RBS)とは、物質に高速のイオンを照射し、後方散乱したイオンのエネルギーと個数を測定することで元素分析をする表面分析手法。

原理 

物質に高速イオンが入射すると、大半は電子との非弾性散乱によりエネルギーを失うが、ごく一部では原子核どうしのクーロン反発（ラザフォード散乱）による弾性散乱が起こる。このとき多重散乱はほとんど起こらず、散乱確率はラザフォードの散乱公式で表される。

入射イオンとしては２MeV程度の軽いヘリウムイオン（アルファ線）が用いられる。

装置 
イオン源から放出されたヘリウムイオン（アルファ線）は、イオン加速器でエネルギーやイオン電流量が調節される。その後イオンビームをコリメーターによって平行にする。
検出器には半導体検出器が用いられる。

特徴 
 非破壊分析である。
 高真空を必要としない。
 軽元素の感度が低い。
 深さ方向の分析が可能。
 測定が短時間。
 原子核の散乱を扱うため、化学状態の影響を受けない。
 組成分析に標準試料が必要ない。

表面物理学
分光学
アーネスト・ラザフォード
物理学のエポニム