摩擦力顕微鏡

摩擦力顕微鏡（まさつりょくけんびきょう、Frictional Force Microscope : FFM）または水平力顕微鏡（すいへいりょくけんびきょう、Lateral force microscope : LFM）は走査型プローブ顕微鏡の一種。

概要 
コンタクトモード原子間力顕微鏡 (AFM)の構成で試料表面の形状や摩擦力の分布の情報を得るために使用される。

走査方向をカンチレバーの長手方向と直角に設定してステージを移動すると探針と試料表面間の摩擦でカンチレバーに捩れが生じるので、これにレーザー光を照射して反射した光束が4分割光検出素子において左右のセル間に光強度差が生じるのでFFM像の取得のために使用する。試料表面の凸凹でカンチレバーが上下に動くと4分割光検出素子で上下のセル間の光強度差が生じるのでAFM像の取得のために使用する。これによって表面の摩擦力の分布を現すFFM像と表面の凸凹を表すAFM像を同時に取得できる。

用途 
 材料開発
 表面の調査

脚注

参考文献 
 Meyer, Gerhard, and Nabil M. Amer. "Simultaneous measurement of lateral and normal forces with an optical‐beam‐deflection atomic force microscope." Applied physics letters 57.20 (1990): 2089-2091, .
 佐々木成朗, 塚田捷,「摩擦力顕微鏡の物理 : ナノトライボロジーのメ力ニクス」『応用物理』 67巻 12号 1998年 p.1370-1375, 応用物理学会, 。
 福澤健二, 寺田諭, 式田光宏, 雨川洋章, 張賀東, 三矢保永, 「摩擦力・荷重の独立測定可能な摩擦力顕微鏡用マイクロプローブ」『日本機械学会論文集 C編』 72巻 723号 2006年, p.3655-3664, 日本機械学会, 。

関連項目 
 走査型プローブ顕微鏡
 原子間力顕微鏡
 磁気力顕微鏡
 圧電応答力顕微鏡
 化学力顕微鏡
 ナノトライボロジー

走査型プローブ顕微鏡