リークテスト

リークテストは、真空装置のリーク（漏れ）を確認するためのテストである。真空で言うリーク（漏れ）とは真空チャンバーの微小な穴、シール不良などによる想定外の外部からの気体の流入を指し、チャンバー壁の放出ガスや真空フランジのシール、窓などの透過するガスについてはリークとは区別される。リークテストは微小な穴などの検知を行なうものであるため、圧力容器や溶接の漏れ探しでも同様の方法をとられることが多い。

リークは真空装置の種類によってもその許容値が異なるため、リークテストの方法もその許容値によって異なる。しかし近年ではその取り扱いとリーク検知の簡便さ、感度からヘリウムリーク法が使用されることが多い。

リークテストの種類

ヘリウムリークテスト 
ヘリウムリークテストとは対象を真空排気しヘリウムのみを検知する真空装置であるヘリウムリークディテクタを使用したテスト方法である。ヘリウムリークディテクタとはヘリウムのみを検出できる分析管を備えた真空ポンプを含む真空装置である。

過去には真空ポンプを油回転ポンプを補助ポンプとした液体窒素によるコールドトラップを利用したポンプを使用することが多かったが、近年では運用コストがかかることや単体のコストが下がっていることからターボ分子ポンプを使用したヘリウムリークディテクタが主流となっている。

ヘリウムリークテストの種類 
 真空吹き付け法
 外覆法（フード法、エンベロープ法ともいう）
 スニファ法（吸い込み法）
 内部加圧-外部真空法

外部リンク 

 リークテストとは｜リークディテクタの基礎知識｜HOW TO｜ULVAC SHOWCASE

関連項目

 トレーサーガスリークテスト

 真空
 真空装置
 真空計
 シール (工学)
 真空フランジ

真空
シール (工学)