三フッ化ヒ素

三フッ化ヒ素（さんフッかヒそ、）はヒ素のフッ化物で、化学式AsF3で表される無機化合物。無色の液体で、水と容易に反応する。半導体の製造などに使われる。

生成、性質 
フッ化水素と三酸化二ヒ素の反応により生成される。
 6HF\ + As2O3 ->2AsF3\ + 3H2O

分子構造は三角錐形で、気体の状態では、ヒ素とフッ素の間の結合距離は170.6pm、結合角は96.2°となっている。
非金属塩化物のフッ素化に使われるが、三フッ化アンチモンに比較すると反応性は劣る。

四フッ化ヒ素セシウム(Cs2AsF4)など、AsF4^-の陰イオンを含む塩を生成する。

フッ化カリウムとの反応により、七フッ化二ヒ素カリウムを生成する。これは AsF3分子とAsF4^-陰イオンとの相互作用を表す。
 KF\ + 2AsF3 -> KAs2F7

AsF2^+ と SbF6^- により五フッ化アンチモン(SbF5)を生成する。

安全性 
日本の毒物及び劇物取締法では毒物に該当し、発癌性がある。

脚注 

ヒ素の化合物
フッ化物