半導体試験装置

半導体試験装置（はんどうたいしけんそうち）とは、集積回路（半導体デバイス）の製造工程において、性能等を試験し良品と不良品の選別を行う装置を指す。

半導体試験装置の種類

テスタ 
半導体デバイスに電気を流すことで、正常に動作するかを試験する装置。ATE（Automated Test Equipment）とも呼ばれる。検査対象（DUT, Device Under Test）の集積回路設計時に作成したテストパターンを元に、入力信号を生成し出力信号を期待値と比較する。ウェハーのレベルでの試験（前工程試験、プローブテスト）、パッケージング後の試験（後工程試験）の2回の試験が行われる。装置の価格が数千万円程度と高価であり、テスト時間（主にテストパターン長に依存）が長いと半導体製品の価格に影響を与える。
 ロジックテスタ
 メモリテスタ
 アナログテスタ

プローバ 
ウェハーレベルでの試験の際、電気を流すためにウェハーに針（プローブ）を当てるための装置。テスタと接続して用いられる。DUTのPADの位置にプローブを配置したプローブカードをDUT毎に交換して用いる。

ハンドラ 
パッケージング後の試験の際、テスタにデバイスを供給するための装置。

半導体試験装置の主なメーカー 
 テスタ
日本
アドバンテスト
 シバソク
 横河テストソリューションズ株式会社
 四国計測工業
 テセック
イーアールディー
スパンドニクス
 アメリカ
 ケースレー・インスツルメンツ
 Verigy
 Teradyne
 Credence
 LTX
 ヨーロッパ

 プローバ
 日本
 東京エレクトロン
 東京精密
 ナガセテクノエンジニアリング

 ハンドラ
 日本
 アドバンテスト
 セイコーエプソン
 東北精機
 ヤマハ
 新東工業
 SYNAX
 テセック
 アメリカ
 Delta Design
 韓国
 Mirae
 TechWing

しけんそうち