自己整合

自己整合（じこせいごう、）とは、例えば半導体等の集積回路作製プロセスにおいて、既に形成されたパターンを次のプロセスのマスクとして利用し、マスクの位置合わせ無しで次のプロセスを進めることである。
また、最初のパターンあるいは形状が最終的な素子のパターンあるいは形状を決定する場合も自己整合と呼ぶ。
自己組織化 (Self-assembly) とは異なる。

関連項目 
 薄膜トランジスタ
 自己集合
 自己組織化
 自己組織化リソグラフィ
 有機体論
 創発
 階層構造
 複雑適応系
 ネゲントロピー
 散逸構造生成
 イリヤ・プリゴジン
 ナノマシン、ナノテクノロジー
 NEMS

脚注・参照 

半導体製造
ナノテクノロジー
システム
サイバネティックス
複雑系
アナキスト理論