Triklorosilana

Triklorosilana adalah senyawa anorganik dengan rumus HSiCl3. Senyawa ini merupakan cairan yang tidak berwarna dan tidak stabil. Triklorosilana yang telah dimurnikan merupakan pendahulu silikon yang sangat murni dalam industri semikonduktor. Jika dicampur dengan air, triklorosilana akan langsung berdekomposisi menjadi polimer silikon dan asam klorida. Triklorosilana sangat reaktif, sehingga sering digunakan dalam proses sintesis senyawa organik yang mengandung silikon.

Produksi 
Triklorosilana diproduksi dari reaksi silikon dengan asam klorida pada suhu 300 °C. Hidrogen juga dihasilkan dalam prosesnya.
Si  +  3 HCl   →   HCl3Si  +  H2

Produk sampingan utama dalam reaksi ini adalah silikon tetraklorida (rumus kimia SiCl4), heksaklorodisilana (Si2Cl6), dan diklorosilana (H2SiCl2). Triklorosilana dapat dipisahkan lewat proses distilasi.

Triklorosilana juga dapat dihasilkan dari silikon tetraklorida:
Si  +  3 SiCl4 +  2 H2  →   4 HSiCl3

Kegunaan 
Triklorosilana adalah bahan dasar yang digunakan dalam proses produksi polisilikon yang telah dimurnikan.
HSiCl3   →    Si  +  HCl  +  Cl2

Bahan hidrosililasi 
Lewat proses hidrosililasi, triklorosilana merupakan pendahulu senyawa organosilikon lainnya yang berguna:
RCH=CH2  +  HSiCl3   →   RCH2CH2SiCl3

Referensi 

 Semiconductors: Silicon: Substrate Manufacture: Polycrystalline silicon Production

Silana
Klorida