Doping (semikonduktor)

Dalam produksi semikonduktor, doping menunjuk ke proses yang bertujuan menambah ketidakmurnian (impurity) kepada semikonduktor sangat murni (juga disebut intrinsik) dalam rangka mengubah sifat listriknya, i.e., dengan cara merubah jumlah pembawa muatan. Ketidakmurnian ini tergantung dari jenis semikonduktor, i.e., golongan atom doping.

Beberapa dopant biasanya ditambahkan ketika boule ditumbuhkan, memberikan setiap wafer doping awal yang hampir seragam. Pada rangkaian terintegrasi, wilayah terpilih (biasanya dikontrol oleh photolithografi) didop lebih lanjut dengan proses difusi atau implantasi ion, metode kedua lebih populer dalam produksi skala besar karena kemudahan pengontrolannya.

Jumlah atom dopant yang dibutuhkan untuk menciptakan sebuah perbedaan dalam kemampuan sebuah semikonduktor sangat kecil. Bila sejumlah kecil atom dopant ditambahkan (dalam order 1 setiap 100.000.000 atom), doping ini disebut rendah atau ringan. Ketika lebih banyak atom dopant ditambahkan (dalam order 10.000) doping ini disebut sebagai berat atau tinggi. Hal ini ditunjukkan sebagai n+ untuk dopant tipe-n atau p+ untuk doping tipe-p.

Penggambaran yang lebih detail tentang mekanisme doping dapat ditemukan dalam artikel semikonduktor.

Fisika zat padat
Fabrikasi alat semikonduktor