ASML

ASML on alankomaalainen teknologiayritys, joka valmistaa optisen litografian laitteita puolijohdeteollisuudelle. Yritys toi markkinoille EUV-litografialla (extreme ultraviolet) valmistamiseen käytettävät laitteet vuonna 2017. Yksi EUV-laite maksaa noin 150 miljoonaa dollaria.

ASML:llä on yli 90 prosentin osuus litografialaitteiden markkinoilla, jossa sen kilpailijoita ovat vanhempaan tekniikkaan keskittyvät Canon ja Nikon.
1980- ja 1990-luvuilla ASML:llä oli 12–15 prosentin osuus toimituksista ja Nikonilla oli 50–60 prosentin osuus. Tilanne alkoi muuttua ASML:n eduksi 1990-luvun toisella puoliskolla. ASML ja Nikon ovat olleet useita kertoja lakituvassa 2000-luvulla.

ASML syntyi vuonna 1984 Philipsin ja Advanced Semiconductor Materials Internationalin (ASMI) yhteisyrityksenä litografialaitteiden valmistukseen nimellä ASM Lithography. Vuonna 1995 yrityksestä tuli itsenäinen osakeyhtiö.

Extreme ultraviolet -teknologia
ASML on ainut yritys maailmassa, joka pystyy valmistamaan EUV-litografiaa hyödyntäviä litografiakoneita.

EUV-litografia käyttää 13,5 nanometrin aallonpituutta mikropiirien valmistuksessa.
1990-luvulla yritysten konsortio, johon kuuluvat AMD, Intel ja Motorol, alkoi tutkia EUV:n käyttöä litografiassa. ASML liittyi joukkoon vuonna 1999. ASML:n menetelmä käyttää korkeatehoisia lasereita ja erikoispinnoitettuja peilejä.

Yritykset kuten Intel, Samsung ja TSMC ovat asiakkaita ASML:n EUV-laitteille.

EUV-prosessin jälkeen tulevat high-NA (high numerical aperture) ja vielä edistyneemmän hyper-NA litografian laitteet. ASML:n Martin van den Brink on kertonut, että jos laitteiden korkeaa kustannusta ei saada laskettua niiden ja itse piirien valmistus laitteilla ei olisi mahdollista taloudelliselta kannalta.

Lähteet 

Alankomaalaiset teollisuusyritykset