Dikloorisilaani

Dikloorisilaani (SiH2Cl2) on epäorgaaninen molekyyliyhdiste. Yhdistettä käytetään elektroniikkateollisuudessa piin ja piiyhdisteohutkalvojen valmistamiseen.

Ominaisuudet, valmistus ja käyttö
Huoneenlämpötilassa dikloorisilaani on väritöntä kaasua. Kaasu voidaan nesteyttää. Dikloorisilaani reagoi veden kanssa, jolloin muodostuu piidioksidia, piidioksidin hydraatteja ja vetykloridia. Dikloorisilaani ärsyttää ihoa, silmiä ja hengitysteitä. Yhdisteelle altistumisesta voi seurata kurkkukipua, pääkipua, hengityksen vaikeutumista ja syövytysvammoja.

Dikloorisilaania valmistetaan piin ja vetykloridin välisellä reaktiolla. Tässä reaktiossa syntyy seos tuotteita, joka sisältää dikloorisilaanin lisäksi muun muassa trikloorisilaania ja tetrakloorisilaania. Seos puhdistetaan tislaamalla. Toinen tapa on trikloorisilaanin disproportioituminen dikloorisilaaniksi ja tetrakloorisilaaniksi. 

Dikloorisilaania käytetään elektroniikkateollisuudessa kasvatettaessa joko yksittäiskiteistä tai monikiteistä piitä. Lisäksi siitä valmistetaan elektroniikkateollisuuden tarpeisiin piidioksidi- ja piinitridiohutkalvoja.

Lähteet

Piiyhdisteet