Typpitrifluoridi

Typpitrifluoridi on epäorgaaninen yhdiste, jonka kaava on NF3. Ulkomuodoltaan se on väritöntä ja palamatonta kaasua. Sitä käytetään puolijohteiden plasmaetsauksessa.

Se reagoi fluorin ja antimonipentafluoridin kanssa tuottaen tetrafluoriammoniumsuolaa, tetrafluoriammoniumheksafluoroantimonaattia.
NF3 + F2 + SbF5 → NF4+SbF−6

Kasvihuonekaasu
Typpitrifluoridin GWP-indeksi on 17 200 kertaa suurempi kuin hiilidioksidin ja sen elinajaksi ilmakehässä arvioidaan 740 vuotta. Toisissa tutkimuksissa sen elinajaksi arvioidaan 550 vuotta, mikä pudottaa sen GWP-indeksin 16 800:een. Käytön jälkeen suurin osa kaasusta tuhotaan, ja muutaman tutkimuksen mukaan vain 2–3 % pääsee ilmakehään.

Turvallisuus
Aine tulee pitää erillään palavista ja pelkistävistä aineista. Se voi imeytyä elimistöön hengitysteitse ja pitkäaikaisella altistuksella saattaa olla vaikutuksia maksaan ja munuaisiin.

Lähteet

Aiheesta muualla

Fluoridit
Kasvihuonekaasut
Typpiyhdisteet