انباشت بخار شیمیایی افزایش یافته با پلاسمای کم‌انرژی

انباشت بخار شیمیایی افزایش یافته با پلاسمای کم‌انرژی () CVD) از پلاسمای کم‌چگالی و کم‌انرژی برای به دست آوردن رسوب اپیتاکسیال مواد نیمه رسانا با سرعت بالا و دماهای پایین استفاده می‌شود.

جستارهای وابسته 
 انباشت بخار شیمیایی

منابع 

 

فناوری ساخت ادوات نیم‌رسانا
فیزیک پلاسما
لایه‌نشانی