انباشت بخار شیمیایی با لیزر

انباشت بخار شیمیایی با لیزر () در این فرایند از لیزر برای گرم کردن لکه‌ها یا خطوط روی یک بستر در کاربردهای نیمه‌هادی استفاده می‌شود. در MEMS و در تولید الیاف، از لیزرها به سرعت برای تجزیه گاز پیش ساز استفاده می‌شود - دمای فرایند می‌تواند از ۲۰۰۰ درجه سانتیگراد فراتر رود.

منابع 

 

فناوری ساخت ادوات نیم‌رسانا