أنظمة ميكانيكية دقيقة

أنظمة ميكانيكية دقيقة  المكتوبة أيضًا على أنها أنظمة ميكانيكية بصرية دقيقة ، وهي فئة خاصة من الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS) التي تستخدم مكونات بصرية وميكانيكية ، وليست إلكترونية.

المراجع 

تقانة مايكروية