تصنيع دقيق

التصنيع الدقيق أو الإنتاج الدقيق  هو مصطلح يستخدم لوصف عمليات تصنيع هياكل مصغرة، من أحجام ميكرومتر أصغر حجما. تاريخيا كان المصطلح عاما ويستخدم في منذ وقت قصير لصناعة أشباه الموصلات في تصنيع الدوائر المتكاملة، وقد تم تغطية هذه العمليات من جانب مصطلح آخر وهو تصنيع أجهزة أشباه الموصلات أو تصنيع أشباه الموصلات.

التقنية ساهمت في مجال التصغير  لمختلف الأجهزة في العديد من مجالات العلوم والهندسة مثل: الفيزياء والكيمياء وعلم المواد، علم الحاسوب، والهندسة فائقة الدقة وعمليات التصنيع، وتصميم المعدات. كما أدت أيضا إلى نشوء أنواع مختلفة من البحوث المتعددة الاختصاصات.

مجالات الاستخدام 
الأجهزة المصنعة دقيقا تشمل:
 دارة متكاملة (انظر تصنيع أجهزة أشباه الموصلات).
 النظم كهروميكانيكية صغرى والتي تختصر بالممس وأجهزة الموائع.
 ليزر اشباه الموصلات.
 شاشة عرض مسطحة.
 الحساسات الدقيقة مثل (الحساس الحيوي الحساس النانوي).
 خلية وقود.
 أنابيب نانوية كربونية.

النشأة 
نشأت تقنية الصناعة الدقيقة من صناعة الإلكترونيات الدقيقة، وعادة ما تكون الأجهزة الدقيقة مصنوعة على رقائق السليكون على الرغم من أن الزجاج والبلاستيك ومواد أخرى عديدة قيد الاستخدام حاليا أيضا وتستخدم كرقاقة (وايفر).

خطوات عمليات ألتصنيع ألدقيق

الركائز

الترسيب أو النمو

الزخرفة أو القولبة

الخراطة

التقطيع الدقيق

النظافة في عملية تصنيع الرقائق 
تجري عملية ألتصنيع الدقيق في الغرف النظيفة حيث تم تنقية الهواء من تلوث الجسيمات ودرجة الحرارة والرطوبة والاهتزازات والاضطرابات الكهربائية وتحت رقابة صارمة جدا. الدخان والغبار والبكتيريا والخلايا كلها مقاربة للميكرومتر في القياس ووجودها سوف يدمر وظائف ألأجهزة الدقيقة لذا تعتببر من الملوثات المؤثرة على هذه الصناعات الدقيقة.

انظر أيضا 
 تصنيع أجهزة أشباه الموصلات
 دارة متكاملة
 مكشاف
 مشغلات
 مبدلات
 علم الموائع الدقيق
 أكسدة حرارية

مراجع 

تصنيع أجهزة أشباه الموصلات
تقانة مايكروية
تقنية النانو