Процесс так и протекает, что сначала жидкость, потом пена, потом все испаряется. Может у вас небулайзер такой, с медленным распылением, с маленькой дисперсностью частиц? А сколько мл налито в емкость? У меня 3,5-4мл примерно за 20 минут испаряется.