Fotorez qatlamini qo'llash

|
Fotorez qatlamini qo'llash
|
bet | 3/7 | Sana | 01.02.2024 | Hajmi | 274,29 Kb. | | #149979 |
Bog'liq 1-labaratoriyaFotorez qatlamini qo'llash . Fotorezist qatlamini qo'llashdan oldin gofret yuzasi tozalanadi. Oldindan tayyorlangan sirtga qo'llaniladigan fotorezist qatlami qalinlikda va butun maydon bo'ylab bir xil bo'lishi kerak, ponksiyonlar, tirnalishlarsiz (ya'ni, doimiy bo'lishi) va yaxshi yopishqoqlikka ega bo'lishi kerak.
Fotorezist qatlamlari texnologik sharoitlarga rioya qilgan holda, changsiz muhitda substratlarga qo'llaniladi. Amaldagi fotorezist pasport ma'lumotlariga mos kelishi kerak. Ishlatishdan oldin uni maxsus filtrlar orqali filtrlash kerak va ayniqsa muhim holatlarda (VLSI ishlab chiqarishda) uni bir necha soat davomida 10-20 ming rpm aylanish tezligida santrifugada qayta ishlash kerak. Bu fotorezistdan 1 mikrondan kichik bo'lgan begona mikrozarralarni olib tashlash uchun amalga oshiriladi, bu esa nuqsonli fotorezist qatlamiga olib kelishi mumkin. Bundan tashqari, fotorezistning viskozitesini tekshirish va uni normal holatga keltirish kerak.
Substratlarga fotorezist qatlamini qo'llash uchun quyidagi usullar qo'llaniladi:
santrifüjlash;
purkash;
elektrostatik;
cho'milish;
sug'orish va boshqalar.
Eslatma qalinligi ±10% ga o'zgarib turadigan fotorezist qatlamlarini qo'llash uchun aylantirilgan . Santrifuga yuqori chastotada aylanganda, erituvchi bug'lanadi va fotorezistning yopishqoqligi tezda oshadi.
Qo'llaniladigan qatlamning qalinligi h fotorezistning viskozitesiga va santrifuga stolining aylanish tezligiga bog'liq: h = , bu erda A - eksperimental tarzda aniqlangan proportsionallik koeffitsienti.
Santrifüjlash usulidan foydalanib, fotorezistning yopishqoqligiga qarab, uning qatlamining qalinligini 0,4 dan 3,5 mikrongacha sozlash, sentrifuga aylanish tezligini 1500 dan 8000 rpm gacha o'zgartirish mumkin. Past santrifüj tezligida fotorezist qatlami notekis bo'lib qoladi va substratning chetlari bo'ylab qalinlashadi.
Fotorezist qatlamining qalinligini tanlayotganda, u yuqori aniqlikka ega bo'lishi kerakligini hisobga olish kerak (qalinligi qanchalik kichik bo'lsa, aniqlik shunchalik yuqori bo'ladi) va etchantga chidamliligini yo'qotmaslik kerak. Bunga qo'shimcha ravishda, fotorezist qatlamida rulonli mahsulotlar ko'rinishidagi nuqsonlar bo'lmasligi kerak, ularning soni qalinligining pasayishi bilan ortadi. Binobarin, fotorezist qatlamining qalinligi minimal bo'lishi kerak, lekin uning etchantga chidamliligini ta'minlash va past nuqsonlarni ta'minlash uchun etarli.
Püskürtme usuli siqilgan havo yoki inert gaz bosimi ostida ishlaydigan ko'krak yordamida aerozol shaklida fotorezist qatlamini qo'llashga asoslangan. Substratlar nozuldan bir necha santimetr masofada joylashgan bo'lib, tomchilar shaklida yotqizilgan fotorezist ularni doimiy qatlam bilan qoplaydi. Püskürtme usuli substratlarni avtomatik partiyaviy qayta ishlash imkonini beradi. Bunday holda, fotorezist qatlamining qalinligi 5% dan kam bo'lmagan aniqlik bilan 0,3 dan 20 mikrongacha o'zgaradi.
Püskürtme usulining afzalliklari quyidagilardan iborat:
1) fotorezist qatlamining qalinligini keng diapazonda o'zgartirish qobiliyati;
2) qalinligi bo'yicha qatlamlarning bir xilligi;
3) tagliklarning chekkalari bo'ylab qalinlashuvlar (qirralar) yo'qligi;
4) profilli substratlarga (eng kichik chuqurchalar va teshiklarda) fotorezistni qo'llash;
5) fotorezistning nisbatan kam sarflanishi;
6) yuqori mahsuldorlik va jarayonni avtomatlashtirish;
7) qatlamning substratga yaxshi yopishishi (tsentrifugalashdan ko'ra yaxshiroq).
Ushbu usulning kamchiliklari shundaki, uni qo'llashda erituvchilarni maxsus tanlash kerak, chunki fotorezist qatlami substratlardan pastga tushmasligi kerak. Fotorezistni va püskürtme uchun ishlatiladigan gazni ham yaxshilab tozalash kerak.
Elektrostatik usulda 1-5 kV / sm gacha bo'lgan elektr maydonidagi substratlarga fotorezist qatlami qo'llaniladi. Bunday maydonni yaratish uchun substrat va maxsus halqali elektrod o'rtasida 20 kV doimiy kuchlanish qo'llaniladi. Fotorezistni nozul bilan elektrod va substrat orasidagi bo'shliqqa AOK qilinganda, bir necha mikrometr diametrli fotorezist tomchilari zaryadlanadi va elektr maydoni ta'sirida gofretga uchadi. Ushbu usul yuqori mahsuldorlikka ega va katta maydonli substratlarda fotorezist qatlamini yotqizish imkonini beradi. Uning kamchiligi jarayonni barqarorlashtirishning qiyinligi va uskunaning nisbatan murakkabligi.
Botirish va quyish usullari barcha turgan fotorezistni qo'llash usullaridan eng oddiyidir. Cho'kish paytida substrat bir necha soniya davomida fotorezistli vannaga botiriladi, so'ngra doimiy tezlikda maxsus ko'tarish moslamasi yordamida vertikal holatda undan tortib olinadi va quritiladi, vertikal yoki qiya o'rnatiladi. Gorizontal joylashgan substratlarga fotorezistni quyish cho'milish bilan solishtirganda qatlam qalinligining bir xilligini ta'minlaydi. Shuni ta'kidlash kerakki, bu usul bilan chekkalarda fotorezist qatlamining qalinlashishi muqarrar. Cho'milish va quyma katta substratlarga fotorezist qatlamini yotqizish uchun, shuningdek, substratning har ikki tomonida qalin qatlamlarni (20 mkm gacha) olish uchun ishlatiladi.
Suyuq fotorezistlarni qo'llashning umumiy kamchiliklari ma'lum bir qalinlikdagi doimiy qatlamlarni olish qiyinligi hisoblanadi.
Quruq fotorezist plyonkasini siljitish jarayonni sezilarli darajada osonlashtiradi va katta maydonli substratlarda bir xil qoplamani ta'minlaydi. Film fotorezisti uch qatlamli lenta bo'lib, unda fotorezist qatlami ikkita polimer plyonka orasiga yopishtirilgan: biri (bardoshliroq) yuk ko'taruvchi, ikkinchisi esa himoya.
Avval himoya plyonka chiqariladi va fotorezist tashuvchi plyonka bilan birga 100 ° C ga qadar qizdirilgan substratlarga o'raladi. Harorat va bosim ta'sirida fotorezist substratga yopishtiriladi. Bunday holda, uning substratga yopishishi keyinchalik olib tashlanadigan qo'llab-quvvatlovchi plyonkadan yuqori bo'lishi kerak.
Ushbu usulning kamchiliklari quruq fotorezist qatlamining katta qalinligi (10-20 mkm) va past aniqlikdir. Shuning uchun, quruq fotorezist plyonkasini prokatlash faqat bosilgan elektron platalarni ishlab chiqarishda qo'llaniladi.
|
| |