Jsm-it800 Schottky Field Emissiya skanerlash elektron mikroskopi

JSM-IT800 Schottky Field Emissiya skanerlash elektron mikroskopi
Xususiyatlari
JSM-IT800 tezkor elementar xaritalash uchun yuqori aniqlikdagi tasvirlash uchun "In-linzali Schottky Plus dala emissiya elektron qurolimiz" va "Neo Engine" innovatsion elektron optik boshqaruv tizimi, shuningdek, uzluksiz grafik interfeysi "SEM Center" tizimini o'z ichiga oladi. umumiy platforma sifatida to'liq o'rnatilgan JEOL energiya dispersiv rentgen spektrometri (EDS) bilan tezkor elementar xaritalash uchun.
JSM-IT800 SEM ob'ektiv linzalarini modul sifatida almashtirish imkonini beradi, foydalanuvchilarning turli talablarini qondirish uchun turli versiyalarni taklif qiladi. JSM-IT800 bilan turli ob'ektiv linzalar bilan beshta versiya mavjud: gibrid linzali versiyasi (HL), bu umumiy maqsadli FE-SEM; yuqori aniqlikdagi kuzatish va tahlil qilish imkonini beruvchi super gibrid linzalar versiyasi (SHL/SHLs, turli funksiyalarga ega ikkita versiya); va yarimo'tkazgichli qurilmalarni kuzatish uchun mos bo'lgan yangi ishlab chiqilgan yarim linzali versiya (i/is, turli funktsiyalarga ega ikkita versiya).
Bundan tashqari, JSM-IT800 yangi Scintillator Backscattered Electron Detector (SBED) va ko'p tomonlama orqaga tarqalgan elektron detektori (VBED) bilan jihozlanishi mumkin. SBED yuqori sezgirlikdagi tasvirlarni olishga imkon beradi va past tezlatuvchi kuchlanishda ham aniq material kontrastini hosil qiladi, VBED esa 3D, topografiya va moddiy kontrastlarning tasvirlarini olishga yordam beradi. Shunday qilib, JSM-IT800 foydalanuvchilarga olinmagan ma'lumotlarni olish va o'lchashdagi muammolarni hal qilishda yordam berishi mumkin.
In-Lens Schottky Plus dala emissiyasi uchun saylov quroli (FEG)
O'rnatilgan In-Lens Schottky Plus va past aberatsiyali kondensator linzalari yuqori nurli yorqinlikka erishadi. Katta zond oqimi (100nA@5kV) past tezlashtiruvchi kuchlanishda ham mavjud. Bu foydalanuvchiga SEM parametrlarini minimal sozlash bilan yuqori aniqlikdagi kuzatish, yuqori tezlikdagi elementar xaritalash, EBSD tahlili va Soft rentgen tahlilini amalga oshirish imkonini beradi.
Neo Engine (Yangi elektron optik dvigatel)
JEOL elektron optikasi texnologiyalarining durdona asari bo'lgan yangi avlod elektron optik boshqaruv tizimi kiritilgan. Turli mikroskop parametrlarini sozlashda barqaror kuzatish mumkin. Bundan tashqari, tizim qo'shimcha qulaylik uchun yaxshilangan avtomatik funktsiyalarga ega.
AFS・ACB
SEM markazi・EDS integratsiyasi
Mikroskop GUI "SEM Center" va JEOL EDS ning to'liq integratsiyasi SEM foydalanishning keyingi avlodiga olib keldi. Bundan tashqari, JSM-IT800 yangi boshlanuvchilarga SEM, LIVE-AI (sun'iy intellekt) filtri Live-AI (Live Image Visual Enhancer-AI: LIVE-AI) bilan ishlashda yordam beradigan Smile Navi (ixtiyoriy) o'z ichiga oladi (ixtiyoriy) jonli tasvirni oson ko'rishni ta'minlaydi va tezkor hisobot yaratish uchun SMILE VIEW™ Lab.
SMILE VIEW™ laboratoriyasi
SMILENAVI * Variant
SMILENAVI - bu yangi boshlanuvchilar uchun mo'ljallangan yordamchi vosita bo'lib, asosiy SEM operatsiyalarini silliq bajarishga imkon beradi. Operator SMILENAVI sxemasida ko'rsatilganidek, tegishli tugmani bosganida, SEM GUI operator ko'rsatmalari uchun bosish operatsiyasiga ulanadi. GUI operatsiya bosqichlari va tugmalar joylarini ko'rsatganligi sababli operatorlar SMILENAVI-dan foydalanmasdan SEMni boshqarishi mumkin.
LIVE-AI filtri (Live Image Visual Enhancer-AI: LIVE-AI)
AI (sun'iy intellekt) qobiliyatidan foydalangan holda, jonli tasvirlarning yuqori sifati uchun LIVE-AI filtri kiritilgan. Tasvir integratsiyasini qayta ishlashdan farqli o'laroq, bu yangi filtr qoldiq tasvirsiz uzluksiz harakatlanuvchi jonli tasvirni ko'rsatishi mumkin. Ushbu noyob xususiyat kuzatuv joylarini tezda qidirish, diqqatni jamlash va stigmatorni sozlash uchun juda samarali.
Jonli tasvirlarni taqqoslash
Gibrid linzalar versiyasi (HL；Gibrid linzalar) /
Super gibrid linzalar versiyasi (SHL；Super gibrid linzalar) /
Yarim-in-linzalar versiyasi
Gibrid linzalar versiyasi (HL；Gibrid linzalar) /
Super gibrid linzalar versiyasi (SHL；Super gibrid linzalar) /
Yarim-in-linzalar versiyasi
JSM-IT800 seriyasi foydalanuvchining maqsadiga mos keladigan ob'ektiv linzalar tanlovini taklif etadi.
HL versiyasi va SHL versiyasi (jumladan, SHLs versiyasi) ko'p qirrali ob'ektivdan ishlab chiqilgan elektromagnit/elektrostatik maydonga o'rnatilgan ob'ektiv linzalari bilan jihozlangan.
Metalllardan nanomateriallarga qadar turli xil namunalarni yuqori aniqlikdagi kuzatish va tahlil qilish mumkin. Bu, ayniqsa, magnit materiallarni kuzatish va EBSD o'lchash kabi tahlillar uchun foydalidir.
i va is versiyalari yarim o'rnatilgan linzalar bilan jihozlangan. Ular yarimo'tkazgichli qurilmalarning nosozliklarini tahlil qilish uchun zarur bo'lgan egilgan va kesma namunalarni yuqori aniqlikdagi kuzatish va tahlil qilish uchun maqbuldir.
Bundan tashqari, u yuqori linzali detektor (UID) yordamida potentsial kontrastni kuzatish uchun foydalidir.
UHD；Yuqori gibrid detektor
SHL versiyasi ob'ektiv linzalariga kiritilgan yangi detektor UHD, namunadan kelib chiqadigan elektronlarni aniqlashda yuqori samaradorlikka ega bo'lib, S/N nisbati yaxshilangan tasvirlarni olishga imkon beradi.
UHD (Yuqori gibrid detektor)
SHL kuzatish misoli
Namuna: alyuminiy oksidi zarralari
Tezlashtiruvchi kuchlanish: 0,5 kV, Kuzatish rejimi: BD, Detektor: UHD
Zarrachalar yuzasida hayratlanarli pog'onali tuzilmani kuzatish mumkin. Zarrachalar yuzasida bitta nm qadamlar aniq kuzatiladi.
※ SHL versiyasi tomonidan sotib olingan.
Namuna: alyuminiy boehmit
Tezlashtiruvchi kuchlanish: 0,3 kV, Kuzatish rejimi: BD, Detektor: UHD
Alyuminiy boehmit yuzasida qalinligi 10 nm dan kam bo'lgan yupqa nano varaq strukturasini aniq kuzatish mumkin.
SHL versiyasi tomonidan sotib olingan.
Namuna: tsellyuloza nanofiber (CNF)
Tezlashuvchi kuchlanish: 0,2 kV, Kuzatish rejimi: BD, Detektor: UHD+UED (signal qo'shilishi)
Professor Xiroyuki Yano tomonidan taqdim etilgan namuna (Barqaror insonparvarlik tadqiqotlari instituti, Kioto universiteti, Yaponiya)
Namuna organik tola bo'lsa-da, kuzatish ham organik tolaga nurning shikastlanishini nazorat qilish orqali amalga oshirilishi mumkin.
SHL versiyasi tomonidan sotib olingan.
Namuna: IC-chipning ko'ndalang kesimi (sirtga ishlov berish, osmiy qoplamasi)
Tezlashtiruvchi kuchlanish: 5,0 kV (BD rejimisiz), Kuzatish rejimi: SHL, Detektor: UHD, UED (BSE rejimi)
SE tasvirini UHD yordamida olish mumkin; va BSE tasvirini UED yordamida olish mumkin.
HL kuzatuviga misol
kuzatish misoli
Fotokatalizator zarralarining ikkilamchi elektron (SE) tasviri
Ushbu tasvir JSM-IT800(i) ning UED detektori yordamida olingan.
Loyiha professori Kazunari Domenning namunasi, Tokio universiteti, Yaponiya.
Ushbu fotokatalizator 100% ga yaqin suvning bo'linish reaktsiyasining kvant samaradorligini ochib beradi. Yuqori aniqlikdagi SE tasviri 10 nm dan kichik o'lchamdagi kokatalizator zarralari vodorod va kislorod evolyutsiyasi reaktsiyalarini rag'batlantirish uchun {100} kubik zarrachalarning kristall qirralariga joylashishini aniq ko'rsatadi.
SRAM komponenti Kompozitsion kontrastli tasvir / kuchlanish kontrasti tasviri / Topografik kontrastli tasvir
Kuzatish shartlari: qo'nish kuchlanishi 1 kV, WD 8 mm, SIL rejimi va signallar bir vaqtning o'zida UED, UID va SED detektorlari tomonidan olinadi.
Izolyatorni kuzatish (qoplanmagan)
Namuna: Al anodik oksid plyonkasi yuzasi
Kuzatish shartlari: qo'nish kuchlanishi 5 kV, WD 4,5 mm, LV rejimi (50 Pa), LVBED detektori
Past vakuumdan foydalanganda sirtdagi nano-g'ovaklarni zaryadlovchi effektlarsiz kuzatish mumkin.
Suyuqlikda tarqalgan zarrachalarni joyida kuzatish Namuna: suvda tarqalgan CeO2
Kuzatish shartlari: qo'nish kuchlanishi 10 kV, WD 4,5 mm, LV rejimi (50 Pa), LVBED detektori
Suyuqlikni Flow View in-situ ushlagichiga o'rash ushlagichning kremniy nitridi oynasi orqali zarrachalarni kuzatish imkonini beradi.
Suyuqlikdagi zarrachalarning tarqalishini ham kuzatish mumkin. (Flow View ushlagichi FlowVIEW Tek tomonidan ishlab chiqarilgan)
Yangi orqaga tarqalgan elektron detektorlari
Scintillator backscattered elektron detektori (SBED) mukammal sezuvchanlikka ega va past tezlanish kuchlanishida kontrastli material tasvirini olishda foydalidir. Ko'p qirrali orqaga tarqalgan elektron detektori (VBED) bo'lingan aniqlash elementi shakliga asoslangan 3D va sirt topografiyasi kabi xarakterli tasvirlarni olish imkonini beradi.
SBED (Scintillator backscattered elektron detektori)
Detektor uchun sintilatordan foydalanish yarimo'tkazgich elementiga nisbatan aniqlanish sezgirligi va sezgirligini oshirdi.
VBED tasvirlari (ko'p tomonlama orqaga tarqaladigan elektron detektori)
Yarimo'tkazgichni aniqlash elementi 5 ta segmentga bo'lingan, bu esa kuzatish maqsadiga mos keladigan signalni tanlash imkonini beradi.
Burchak tanlash
Namuna: Sintillyator, tezlashtiruvchi kuchlanish: 3,0kV
Orqaga tarqalgan elektronlarning olish burchagiga qarab, kompozitsion ma'lumot ichki segment tomonidan, topografiya ma'lumotlari esa tashqi segmentlar tomonidan yaxshilanadi. Bundan tashqari, AI cho'kma plyonkasi ostidagi lyuminestsent tanasining kontrastini taqqoslab, turli xil chuqurlik bilan bog'liq ma'lumotlarni potentsial ravishda tekshirish mumkin.
3D rekonstruksiya
Namuna: CCD elementining chipdagi mikro linzalari, tezlashtiruvchi kuchlanish: 7,0 kV
3D tasvirni to'rt segmentdan olingan 2D tasvirlar yordamida qayta tiklash mumkin.
Texnik xususiyatlari
|
JSM-IT800 (HL)
|
JSM-IT800 (bu)
|
JSM-IT800 (i)
|
JSM-IT800 (SHLs)
|
JSM-IT800 (SHL)
|
|
|
Rezolyutsiya
|
0,7nm (20kV)
|
0,6 nm (15 kV)
|
0,5nm (15kV)
|
0,6 nm (15 kV)
|
0,5nm (15kV)
|
|
|
1,3nm (1kV)
|
1,0nm (1kV)
|
0,7nm (1kV)
|
1,1nm (1kV)
|
0,7nm (1kV)
|
|
|
|
|
|
|
0,9nm (500V)
|
|
|
3,0nm (15kV, 5nA, WD 10mm)
|
3,0nm (15kV, 5nA, WD 8mm)
|
3,0nm (15kV, 5nA, WD 8mm)
|
3,0nm (15kV, 5nA, WD 10mm)
|
3,0nm (5kV, 5nA, WD 10mm)
|
|
|
Kattalashtirish
|
Fotosuratni
kattalashtirish:
×10 - × 2,000,000
(128 × 96 mm)
Displeyni kattalashtirish:
×27 - × 5,480,000
(1,280 × 960 piksel)
|
Fotosurat
kattalashtirish:
×25 - × 2,000,000 (128 × 96 mm)
Displey kattalashtirish:
×69 - ×5,480,000 (1,280 × 960 piksel)
|
Fotosurat
kattalashtirish:
×25 - × 2,000,000 (128 × 96 mm)
Displey kattalashtirish:
×69 - ×5,480,000 (1,280 × 960 piksel)
|
Fotosuratni
kattalashtirish:
×10 - × 2,000,000
(128 × 96 mm)
Displeyni kattalashtirish:
×27 - × 5,480,000
(1,280 × 960 piksel)
|
Fotosuratni
kattalashtirish:
×10 - × 2,000,000
(128 × 96 mm)
Displeyni kattalashtirish:
×27 - × 5,480,000
(1,280 × 960 piksel)
|
|
|
Tezlashtiruvchi kuchlanish
|
0,01 dan 30 kV gacha
|
Prob oqimi
|
Bir necha pA dan 300 nA (30 kV) gacha
bir necha pA dan 100 nA (5 kV) gacha
|
Bir necha pA dan 300 nA (30 kV) gacha
bir necha pA dan 100 nA (5 kV) gacha
|
Bir necha pA dan 500 nA (30 kV) gacha
bir necha pA dan 100 nA (5 kV) gacha
|
Bir necha pA dan 500 nA (30 kV) gacha
bir necha pA dan 100 nA (5 kV) gacha
|
Bir necha pA dan 500 nA (30 kV) gacha
bir necha pA dan 100 nA (5 kV) gacha
|
|
|
Detektor (standart)
|
Ikkilamchi elektron detektori (SED)
Yuqori elektron detektori (UED)
|
Ikkilamchi elektron detektori (SED)
Yuqori linzali detektor (UID)
|
Ikkilamchi elektron detektori (SED)
Yuqori linzali detektor (UID)
Yuqori elektron detektori (UED)
|
Ikkilamchi elektron detektori (SED)
Yuqori gibrid detektor (UHD)
|
Ikkilamchi elektron detektori (SED)
Yuqori gibrid detektor (UHD)
|
|
|
Elektron qurol
|
Ob'ektiv ichidagi Schottky Plus dala emissiya elektron quroli
|
Emitentning
kafolat muddati
|
3 yil
|
Diafragma burchagi nazorat linzalari (ACL)
|
O'rnatilgan
|
O'rnatilgan
|
O'rnatilgan
|
O'rnatilgan
|
O'rnatilgan
|
|
|
Ob'ektiv ob'ektiv
|
Gibrid linza
|
Yarim linzali
|
Yarim linzali
|
Super gibrid linzalar
|
Super gibrid linzalar
|
|
|
Namuna bosqichi
|
To'liq evsentrik goniometr bosqichi
|
To'liq evsentrik goniometr bosqichi
|
To'liq evsentrik goniometr bosqichi
|
To'liq evsentrik goniometr bosqichi
|
To'liq evsentrik goniometr bosqichi
|
|
|
Sahna nazorati
|
5 o'qli motorli haydovchi
|
5 o'qli motorli haydovchi
|
5 o'qli motorli haydovchi
|
5 o'qli motorli haydovchi
|
5 o'qli motorli haydovchi
|
|
|
Namuna o'lchami
(chizish)
|
1-toifa (standart)
Maksimal diametri: 170 mm, Maksimal balandlik: 45 mm (WD 5 mm)
Bosqich harakati diapazoni (X:70mm Y:50mm Z:1 dan 41mm gacha Nishab: -5 dan 70° gacha Aylanish: 360°)
2-toifa (ixtiyoriy ) )
Maksimal diametri: 200 mm, Maksimal balandligi: 55 mm (WD 5 mm)
Bosqich harakati diapazoni (X: 100 mm Y: 100 mm Z: 1 dan 50 mm gacha Nishab: -5 dan 70 ° gacha Aylanish: 360 °)
3-toifa (ixtiyoriy)
Maksimal diametr : 200 mm, Maksimal balandlik: 45 mm (WD 5 mm)
Bosqich harakati diapazoni (X: 140 mm Y: 80 mm Z: 1 dan 41 mm gacha Nishab: -5 dan 70 ° gacha Aylanish: 360 °)
|
Past vakuum rejimi
(ixtiyoriy)
|
Mavjud
|
Tahlil funksiyasi
(ixtiyoriy)
|
EDS
WDS
EBSD
CL
|
EDS
WDS
EBSD
CL
|
EDS
WDS
EBSD
CL
|
EDS
WDS
EBSD
CL
|
EDS
WDS
EBSD
CL
|
|
|
Asosiy ilovalar (misol)
|
Magnit material
Keng maydon EBSD
|
Yarimo'tkazgichli qurilmalarni tahlil qilish
|
Magnit material, EBSD, Biologik namuna
(Array tomografiya, CLEM)
|
|
|