Elektronika soxasida qollaniladigan yarim otkazgichli materiallarga mexanik va kimyoviy ishlov berish texnologiyasi

|
Elektronika soxasida qollaniladigan yarim otkazgichli materiallarga mexanik va kimyoviy ishlov berish texnologiyasi
|
bet | 18/20 | Sana | 15.07.2024 | Hajmi | 2,12 Mb. | | #267675 |
Bog'liq mustaqil ish (no41)2.3. Elektronika soxasida qollaniladigan yarim otkazgichli materiallarga mexanik va kimyoviy ishlov berish texnologiyasi
Yarim otkazgichli materiallarni qirqish. Yarim otkazgichli materiallar asosan yombi korinishda ostiriladi (slitok). Yombining diametri, vazni, uzunligi har xil bolishi mumkin. Undan tashqari materiallar qattiqligi bilan ham katta farq qilishi mumkin. Qirqish usullari asosan sim orqali qirqish, olmos yuritilgan gardish (disk) orqali qirqish va nisbatan yangi usul lazer nuri yordamida qirqishlarga bolinadi. Bu usullarni ishlatish davomida asosan qirqish jarayonida hosil boladigan chiqindilarni kamaytirish, qirqish jarayonida plastinalar sifatini saqlash va qirqish samaradorlikni oshirishga ahamiyat beriladi.
Kimyoviy ishlov berish. Bu texnologik jarayon davomida asosan yarim otkazgichli materiallar yuzasiga tasir qilinadi va ular qatoriga kimyoviy va mexanik sayqal berish (polirovka), kimyoviy tozalash (ochistka) va kimyoviy emirish (travlenie) jarayonlari kiradi. Ishlov berish tartibi quyidagilardan iborat: taglikka ornatish, yuvish va shliflash (bu jarayon katta raqamli abraziv kukundan kichkinasiga qarab asta-sekin olib boriladi). Sayqallash jarayoni quyidagi tartibda olib boriladi. Avvaliga namuna taglikka ornatiladi, keyin shlifovka jarayonida ishlatilgan dastgohga yoki alohida dastgohga yumshoq matoh (M: baxmal, zamsh, batist, satin va shunga oxshashlar) tortiladi. Songra namuna matohga malum bosim bilan yarim otkazgichli material kontaktga keltiriladi va malum tezlikda aylantiriladi 60-100 ayl/min. Matoh bilan namuna orasiga tarkibida olmos bolgan suspenziya (olmos pastalar asosida tayyorlangan quyuq massa) quyiladi. Ishlatiladigan asosiy olmos pastalar markalari ASM 3, ASM 1 va hokazolar. Ishlov berish sifati va darajasi optik mikroskop yordamida nazorat qilinadi.
Kimyoviy emirish jarayoni. Yarim otkazgichli materiallar sirtida mexanik ishlov natijasida hosil bolgan deformatsiya bolgan qatlamlarni sof yuza chegarasigacha olib tashlash uchun ishlatiladi. Ayrim hollarda YAO qalinligini kamaytirishda ham ishlatiladi. Kimyoviy emiruvchilar uch turga bolinadi.
Selektiv (tanlovchi) emiruvchilar. Bular yordamida kerakli malum kristallografik yonalishdagi yuzalarni, sirtlarni chiqarish mumkin.
Sayqallovchi emiruvchi. Bu izotropik, yani har xil yonalishda ozgarmas malum emirish tezligiga ega bolgan emiruvchi.
Noselektiv emiruvchi. Bu emiruvchi material yuzasini nisbatan sayqallaydi va yuzada notekisliklar ham hosil qiladi.
Emiruvchilar tayyorlash uchun ximikatlar ularning tozaligiga qarab tanlab olinadi. Ximikatlar tozaligiga qarab quyidagi turlarga bolinadi. T texnik toza, XCH ximiyaviy toza, CHDA analiz uchun toza, OSCH alohida spektral toza. Ushbu bitiruv malakaviy ishida maxsus laboratoriyada bajarilgan texnologiya korinishlari rasmda ilova qilinadi.
|
|
Bosh sahifa
Aloqalar
Bosh sahifa
Elektronika soxasida qollaniladigan yarim otkazgichli materiallarga mexanik va kimyoviy ishlov berish texnologiyasi
|