Mavzu: Nanotexnologiyaga asoslangan optoelektronika qurilmalarini rivojlanish istiqboli. Kirish I bob - bet 8

|
Mavzu: Nanotexnologiyaga asoslangan optoelektronika qurilmalarini rivojlanish istiqboli. Kirish I bob
|
bet | 8/8 | Sana | 21.05.2024 | Hajmi | 378,57 Kb. | | #248412 |
Bog'liq Diplom ish6.10—rasm. Yoritilgan elektron mikroskopda namuna va barcha linzalarning o‘q joltashuvi.
Yoritilgan elektron mikroskopda namuna va barcha linzalarning o‘q joylashuvi qo‘zg‘almas qilib o‘matilgan. Fokuslash va kattalashtirish Ob’yektiv, oraliq va proyeksion linzalarning fokus masofasini o‘zgartirish bilan boshqariladi. Bunda fokus masofa linzalarning magnit o‘ramlari orqali oqib o‘tayotgan tokni o‘zgartirish bilan amalga oshiriladi. Elektrodlaridagi tok va kuchlanishlarning turg‘unligi, mikroskopning ishlashida muhim ahamiyatga egadir. Bundan tashqari Iinza va“ aperturaning optik o‘qining yustirovkasi yuqori aniqlikda qilinishi kerak. Yoritilgan elektron mikroskop yordamida strukturasini kuzatishda ikkita usuldan foydalniladi. Yupqa namunalar uchun qorong‘ulash (soyalash) usuli ishlatilsa, qalin namunalarda esa nusxa olish usulidan foydalaniladi.
6.4. Elastik qaytgan elektronlar mikroskopining tuzilishi va ishlash tamoyillari
Elektronlar oqimini o‘tqazmaydigan massiv namuna sirtini bevosita kuzatish uchun maxsus turdagi elektron mikroskop yaratilgan. Akslanuvchi mikroskopning optik kattalashtirish tizimi yorituvchi turdagi mikroskop kabi bo‘lib, biroq jismni tasvirini hosil qilishga olib keluvchi, jismni elektron to‘plam bilan o’zaro ta’sirlashishi o‘zgacha bo‘ladi. Akslanuvchi mikroskopda tekshirilayotgan namuna, uning sirtiga ma’lum burchak ostida tushuvchi elektron to‘plam bilan nurlantiriladi.
6.11 — rasm.
Akslanuvchi magnit elektron mikroskop sxemasi:
Akslangan to‘plamda energiya farqlanishi katta bo‘ladi. Uni tushuvchi va akslangan elektronlarni, namuna sirti bilan hosil qilgan burchakni kamaytirish bilan erishiladi. Bu esa tushush tekisligiga perpendikulyar yo‘nalishda bir necha 100 angstremga teng bo‘lgan ajratishini beradi. Namuna sirtiga kichik burchak ostida tushuvchi va akslanuvchi elektron to‘plamlarga ega bo‘lgan akslanuvchi mikroskoplar qo‘llaniladi. Bunday mikroskoplarda obektiv o‘qi tekshirilayotgan namuna tekisligi bilan alfa burchak hosil qiladi. Jismga tushuvchi elektron to‘plam shu o‘q bilan 0 burchakni tashkil qiladi va 8 - 12° ga teng bo‘ladi. Kerakli elektron to‘plam yo‘nalishini olish uchun mikroskopning yorituvchi tizimi obektiv o‘qiga nisbatan og‘dirilgan holda joylashtiriladi.
Akslanuvchi mikroskopning kamchiligi, elektron to‘plamning og‘ma tushishi bilan bog‘liq bo‘lgan tasvir buzilishidir. To‘plamning bunday yo‘li tufayli tushish tekisligiga parallel yo‘nalishdagi sirt o‘lchami, shu tekislikka perpendikulyar bo‘lgan tasvir o‘lchamiga nisbatan kichiklashgan bo‘ladi. Darhaqiqat, agar mikroskop optik tizimining kattalashtirishi M ga teng bo‘lsa, u holda tushush tekisligiga perpendikulyar bo‘lgan jism sirtida yotuvchi a uzunlikdagi tasvir qismi bo‘ladi. Tushush tekisligiga parallel joylashgan xuddi shu uzunlikdagi tasvir o‘lchamga ega bo‘ladi. Bu yerda elektronni namuna sirti bilan hosil qilgan burchak. Shunday qilib, birinchi holatda kattalashtirishni. Akslanuvchi elektron mikroskopning eng katta kamchiligi ajrata olishning cheklanganli va tasvirning deformatsiyalanishiga qaramasdan, u shaffof bo‘lmagan jism sirtini bevosita kuzatishda eng samarali uskuna bo‘lib hisoblanadi. Akslanuvchi mikroskop yordamida temir namunanig tasviri 6.14 - rasmda keltirilgan.
6.14 — rasnt.
Akslanuvchi mikroskop yordamida olingan tasvir.
|
| |